GASS立式甩干機(jī)
GASS立式甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備,具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點(diǎn),不同品圓尺寸,可通過(guò)快速更換轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu),體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體品圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機(jī)
GASS立式甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備,具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點(diǎn),不同品圓尺寸,可通過(guò)快速更換轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu),體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體品圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。